Трубчатая печь

Процессы:

  • Полупроводниковая диффузия
  • Полупроводниковый шарнир равноугловых скоростей
  • Полупроводниковый отжиг
  • Полупроводниковая эпитаксия

Диапазон температур:

200°C - 1750°C

Атмосфера:

  • Водород
  • Азот
  • Силан
  • Аммиак
  • иная

Тип печи:

  • Вертикальная трубная
  • Горизонтальная трубная

Материал труб:

  • Кварц
  • Керамика SiC Al2O3
  • Нержавеющая сталь